B.主要技術(shù)指標：

1.測量原理：垂直方向：觸針法，電感傳感器；
水平方向：光柵傳感器；
2.測量范圍：垂直400μm，水平100mm；
3.表面粗糙度Ra示值誤差：≤±5%；
輪廓度示值誤差：垂直≤0.25%，水平≤0.004%；
4.最小分辨力：垂直0.6 nm，水平1μm；
5.取樣長度：0.08，0.25，0.8，2.5，8mm；
6. 評定長度：N倍取樣長度，N=1，2，3，4，5；
7. 數(shù)字濾波器：高斯、2RC、PC、不濾波；
8.粗糙度測量參數(shù)：Ra，Rc，Rp，Rv，Rz，Rq，Rsm，Rt，Rsk，Rku，Rdq，Rmr；
波紋度測量參數(shù)：Wa，Wc，Wp，Wv，Wz，Wq，Wsm，Wt，Wsk，Wku，Wdq，Wmr；
原始輪廓測量參數(shù)：Pa，Pc，Pp，Pv，Pz，Pq，Psm，Pt，Psk，Pku，Pdq，Pmr；
直線度測量系統(tǒng)測量參數(shù)：|X2-X1|，|Y2-Y1|；
9.輪廓圖形的垂直放大倍率：最大100000倍無級連續(xù)放大；
輪廓圖形的水平放大倍率：最大50000倍無級連續(xù)放大；
10.驅(qū)動箱滑行長度：100mm；
11.驅(qū)動速度：0.1，0.2，0.5，0.8，1.0mm/s；
返回速度：1.5mm/s；
12.傳感器返回形式：手動，自動；
13.基準導(dǎo)軌的直線性：1μm/100mm；
14.傳感器測針：金剛石圓錐，錐角90°，針尖半徑2μm；
15.立柱結(jié)構(gòu)：快慢速機動升降系統(tǒng)，自動對準零位；
16.立柱垂直測量高度：290mm；
17.工作底臺：460mm×720mm大理石平臺；

C.儀器的組成：

D.儀器的外形尺寸與重量：

• 儀器凈重：260kg；
• 儀器毛重：360kg；
• 儀器外形尺寸：1620mm×460mm×740mm；
• 包裝外形尺寸：1590mm×1150mm×1065mm；